晶圆自动推片器 自动倒片机 Automatic Wafer Transfer
电脑控制的批量晶圆转移
符合高价值的晶圆处理要求
低维护成本,精度高
缓慢移动晶圆
移动匀速稳定
型号
SA-WT-150-W-E-F(6in)
SA-WT-200-W-E-F(8in)
电脑控制的批量晶圆转移
符合高价值的晶圆处理要求
低维护成本,精度高
缓慢移动晶圆
移动匀速稳定
型号
SA-WT-150-W-E-F(6in)
SA-WT-200-W-E-F(8in)
SOSCH提供全系列行业领先的半导体晶圆转移。这些系统是为洁净室应用而设计的。速度、精度、安全传感器和低维护工程使这些大块晶片传送成为处理精密半导体晶片的理想选择。它们符合SEMI标准,并与大多数工业流程和运输片盒兼容。
规格:
-适用于6英寸(150mm)、8英寸(200mm)晶圆
-适用于25槽晶圆盒
-晶圆形状:Flat平边、Notch槽口
-自动操作
-效率:100盒/小时
-材料:抗静电聚甲醛(白色)
-材料辊:抗静电聚氨酯(十的八次方)
-花篮H面变形指示灯不亮
电源要求:DC12-24V
-抗静电设计 -花篮H面指引
-用于正确放置片盒的导轨对齐辅助
-与大多数标准处理花篮、运输花篮和储存花篮兼容
-与金属花篮不兼容