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Pre-aligner晶圆校准器/晶圆预定位系统
产品名称：晶圆预定位系统、晶圆校准器
定位时间：3秒（不包括晶圆的取放时间）
产品重量：大约10 kg
产品特性：晶圆中心：±0.1 mm以内 晶圆缺边（缺口）：±0.1度以内
产品名称：晶圆预定位系统、晶圆校准器
定位时间：3秒（不包括晶圆的取放时间）
产品重量：大约10 kg
产品特性：晶圆中心：±0.1 mm以内 晶圆缺边（缺口）：±0.1度以内
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