自动晶圆理片器校准器 Automatic Wafer Flat/Notch Aligner

规格:
-适用于6英寸（150毫米）、8英寸(200毫米)晶圆

-适用V槽Notch、平边Flat
-适用于25插槽晶圆盒
-晶圆缺口探测器/晶圆槽口对准器
-自动操作
-材料阶段:抗静电聚丙烯
-材料辊:抗静电聚氨酯
-抗静电设计
-花篮H面指引
-槽口的调整位置:8个位置
-对准精度:+/- 1度
-发光二极管过程指示器
-用于正确放置片盒的导轨对齐辅助
-与大多数标准8英寸处理花篮、运输花篮和储存花篮兼容
-金属花篮特别定制

***注意:订购时，请指定晶圆卡匣型号***