触摸屏版晶圆角度理片机
日本三菱PLC控制的批量晶圆校准
符合高价值的晶圆处理要求
低维护成本,精度高、减少颗粒产生
0~360°位置可任意设定、带角度补偿
伺服电机保证角度的准确性
7"触摸屏显示器
可编程角度和速度
批次号记录可查,最长180天
菜单模式可选择
日本三菱PLC控制的批量晶圆校准
符合高价值的晶圆处理要求
低维护成本,精度高、减少颗粒产生
0~360°位置可任意设定、带角度补偿
伺服电机保证角度的准确性
7"触摸屏显示器
可编程角度和速度
批次号记录可查,最长180天
菜单模式可选择
SOSCH提供全系列行业领先的半导体晶圆转移。这些系统是为洁净室应用而设计的。速度、精度、安全传感器和低维护工程使这些大块晶片传送成为处理精密半导体晶片的理想选择。它们符合SEMI标准,并与大多数工业流程和运输片盒兼容。
规格:
-适用于6英寸(150mm)、8英寸(200mm)晶圆
-适用于25槽晶圆盒
-晶圆形状:Flat平边、Notch槽口
-自动操作
-效率:100盒/小时
-材料:抗静电聚甲醛(黑色)
-材料辊:抗静电聚氨酯(十的八次方)
-花篮H面变形指示灯不亮
电源要求:AC 220V
-抗静电设计 -花篮H面指引
-定位装置位置可调
-与大多数标准花篮兼容
-与金属花篮不兼容(可联系销售确认)