单片晶圆倒片机sorter

功能介绍

1. 自动单晶片转移

2. 手动选择所需转移晶片

3. 可用于不同间距花篮

4. 减少晶圆划痕

5. 可用于薄片转移

6. 自动识别花篮位置和检测花篮内否有晶圆

7. 可编辑晶圆转移顺序

安全配置

末端执行器可识别所有晶圆位置

装载误差映射-交叉开槽、双层晶圆检测

晶片滑出传感器检测到晶片滑出位置错误

花篮位置传感器检测位置放置正确