5英寸（127*127*2.29mm）：MPH-50096英寸（152*152*3.05mm）：MPH-60126英寸（152*152*6.35mm）：MPH-60257英寸（177.6*177.6*3.05mm）：MPH-70127英寸（177.6*177.6*3.81m···

5英寸（127*127*2.29mm）：MPS-50096英寸（152*152*3.05mm）：MPS-60126英寸（152*152*6.35mm）：MPS-60257英寸（177.6*177.6*3.05mm）：MPS-70127英寸（177.6*177.6*3.81m···

产品名称：晶圆预定位系统、晶圆校准器定位时间：3秒（不包括晶圆的取放时间）产品重量：大约10 kg产品特性：晶圆中心：±0.1 mm以内  晶圆缺边（缺口）：±0.1度···